氮化鈦具有耐腐蝕性強、抗氧化性好、化學穩定性高以及電導性好等優點。本文以陽極氧化法制得的納米TiO2薄膜、多孔結構和納米管材料為前驅體,通過氨氣高溫還原氮化法制得了納米氮化鈦薄膜、多孔結構和納米管材料。XRD和EDS分析結果表明,三種納米結構氮化鈦的化學組分均只含Ti、N兩種元素,且前驅體TiO2已經被完全轉化為氮化鈦,主要以TiN相和Ti2N相存在。SEM結果表明,高溫氮化得到的三種納米結構氮化鈦仍保持了前驅體的微觀結構,氮化鈦多孔結構和納米管均具有有序陣列特征,納米管管徑和孔道直徑均小于100nm,TiN薄膜表面具有很多大小不均的突起顆粒。四探針法測試得到三種納米氮化鈦的電阻率約為5.0×l0-7?·m,顯示了很好的電子導電性。恒電位階躍測試得到氮化鈦納米管的真實表面積為1591.2cm2,多孔結構為366.3cm2,薄膜為125.8cm2。采用線性伏安曲線和Tafel曲線研究了制備得到的三種納米結構氮化鈦電極在硫酸溶液中的電化學析氫性能。研究表明,雖然三種TiO2前驅體具有較大的比表面積,但由于其導電性較差,導致析氫過電位高,而形成氮化物后則能顯著提高其析氫能力。氮化鈦納米管電極真實表面積比較大,且高度有序的納米管陣列結構,具有比氮化鈦薄膜和多孔結構更好的析氫電催化活性。采用離子鍍技術與多弧磁控耦合鍍膜技術分別在柱塞上涂覆了TiN涂層和DLC涂層。蘇州 刀具氮化鈦服務電話
氮化物涂層具有硬度高、耐磨性好、良好的抗氧化性、抗粘附性等性能,常用做刀具的保護涂層。304不銹鋼和鈦合金因為良好的性能而在生活中應用適合,但由于在加工時會出現加工硬化、切削溫度較高、刀具粘結等缺陷,是比較典型的難加工材料。而使用涂層刀具能有效改善刀具的切削性能,并能延長刀具的使用壽命。市場上常用Al CrN和Al TiN涂層來切削這兩種材料。但是這兩種材料容易在刀具表面產生粘附層,會影響刀具的使用壽命,為了改善“粘刀性”,需要先了解不同刀具在不同涂層上的粘附機理。泰州壓鑄模具氮化鈦生產企業有較為的硬度和耐磨性,用于開發新型刀具,這種新型的刀具比普通硬質合金刀具的耐用度和使用壽命顯著提高。
在深亞微米(0.15μm及以下)集成電路制造中,后段工藝日趨重要,為降低阻容遲滯(RCDelay),保證信號傳輸,減小功耗,有必要對后段工藝進行改進,Via阻擋層MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition,金屬有機物化學氣相淀積)TiN是其中重要研究課題之一。本論文基于薄膜電阻的理論分析,從厚度、雜質濃度和晶體結構三大薄膜電阻影響因素出發系統研究MOCVDTiN材料在平面薄膜上和真實結構中的各種性質,重點是等離子體處理(PlasmaTreatment,PT)下的晶體生長,制備循環次數的選擇對薄膜雜質濃度、晶體結構及電阻性能的影響,不同工藝薄膜在真實結構中物理形貌、晶體結構和電阻性能的表現和規律,超薄TiN薄膜(<5nm)的實際應用等。俄歇能譜、透射電子顯微鏡和方塊電阻測試證明PT作用下雜質濃度降低,同時晶體生長,薄膜致密化而電阻率降低。PT具有飽和時間和深度,較厚薄膜需多循環制備以充分處理,發現薄膜厚度較小時(本實驗條件下為4nm),增加循環次數雖然進一步降低了雜質濃度,但會引入界面而使薄膜電阻率增加。通過TEM觀測發現由于等離子體運動的各向異性,真實結構中PT效率在側壁遠低于頂部和底部,這導致側壁薄膜在PT后更厚。
采用電弧離子鍍技術在氧化鋁基復合陶瓷材料表面沉積了TiN涂層,使用掃描電子顯微鏡、X射線衍射、二次離子質譜分析了沉積偏壓對涂層質量的影響.結果表明:隨著沉積偏壓的提高,涂層質量變好;偏壓為300V時沉積的涂層表面光滑平整,內部無明顯的宏觀缺陷;TiN涂層為立方NaCl結構,并且呈現出明顯的(220)擇優取向;涂層與基體結合緊密,相互之間有明顯的元素擴散,有利于提高界面的結合強度。3Cr2W8V基體離子鍍TiN涂層的滑動磨損特性。分析了涂層的磨損機理。結果表明:TiN涂層的耐磨性明顯高于3Cr2W8V基體。涂層的主要磨損機制為磨粒磨損和疲勞剝落。其次為摩擦性能,當試驗載荷從490N到980N時,涂層的磨損率上升,而從980N上升到1470N時,各涂層的磨損率下降,其原因是磨損機制發生了變化,前者以磨粒損為主,氧化磨損為輔;而后者以氧化磨損為主。氮化鈦是一種優良的結構材料。在軸承和密封環領域也多用氮化鈦合金凸顯了氮化鈦優異的應用效果。
口腔是有生物化學和電化學因素影響的復雜環境,具有較強的腐蝕性。因而對應用于口腔中的金屬材料也提出了更高的要求。在磁性附著體的研究及臨床應用中,我們發現磁性附著體在口腔中長期使用后所出現的腐蝕和磨損是導致磁性附著體的固位力下降的主要原因,也是影響磁性附著體遠期應用效果的主要問題。進一步提高磁性附著體的耐腐蝕性和耐磨損性是解決這一問題的適合途徑。近年來,隨著當今各種鍍膜技術,如化學氣相沉積(chemicalvapordepositionCVD)、物物理相沉積(physicalvapordepositionPVD)、等離子體輔助化學氣相沉積(physicalchemicalvapordepositionPCVD)、激光輔助化學氣相沉積(laserchemicalvapordepositionLCVD)、離子鍍(ionplateIP)和離子束輔助沉積技術(ionbeamassisteddepositionIBAD)等不斷完善和發展,使具有高硬度、高耐磨性、良好耐腐蝕性的氮化鈦納米膜在國際和國內都得到了適合研究與應用。氮化鈦涂層可降低牙科鑄造合金,尤其是賤金屬合金的腐蝕傾向,提高其耐蝕性。江蘇防銹氮化鈦生產企業
TiN是非化學計量化合物穩定的組成范圍為TiN0.37- TiN1.16,氮含量可在一定范圍內變化不引起TiN結構的變化。蘇州 刀具氮化鈦服務電話
TiN薄膜可以減輕切削刃邊材料的附著,提高切削力,改善工件的表面質量,成倍增加切削工具的使用壽命和耐用度。因此,TiN薄膜被適合用于低速切削工具、高速鋼切削、木板切削刀具和鉆頭的涂覆上。另外,TiN也是磨損部件的理想耐磨涂層,特別是由于其低的黏著傾向拓寬了在許多磨損系統中的應用,如汽車發動機的活塞密封環、各種軸承和齒輪等:此外,TiN還廣泛應用于成型技術工具涂層,如汽車工業中薄板成型工具的涂層等TiN薄膜無毒、質輕、強度高且具有優良的生物相容性,因此它是非常理想的醫用金屬材料,可用作植入人體的植入物和手術器械等閻。此外,氮化鈦薄膜還能作為其他優良生物相溶性薄膜的增強薄膜。國外的Nelea等人通過鍍制TiN薄膜中間層大幅度提高了醫用常用材料羥磷灰石薄膜(HA)的機械性能和附著力。蘇州 刀具氮化鈦服務電話
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