定義與特性
負性光刻膠是一種在曝光后，未曝光區域會溶解于顯影液的光敏材料，形成與掩膜版（Mask）圖案相反的圖形。與正性光刻膠相比，其主要特點是耐蝕刻性強、工藝簡單、成本低，但分辨率較低（通常≥1μm），主要應用于對精度要求相對較低、需要厚膠或高耐腐蝕性的場景。
化學組成與工作原理
主要成分
基體樹脂：
早期以聚異戊二烯橡膠（天然或合成）為主，目前常用環化橡膠（Cyclized Rubber）或聚乙烯醇肉桂酸酯，提供膠膜的機械強度和耐蝕刻性。
光敏劑：
主要為雙疊氮化合物（如雙疊氮芪）或重氮醌類衍生物，占比約5%-10%，吸收紫外光后引發交聯反應。
交聯劑：
如六亞甲基四胺（烏洛托品），在曝光后與樹脂發生交聯，形成不溶性網狀結構。
溶劑：
多為有機溶劑（如二甲苯、環己酮），溶解樹脂和光敏劑，涂布后揮發形成均勻膠膜。
工作原理
曝光前：光敏劑和交聯劑均勻分散在樹脂中，膠膜可溶于顯影液（有機溶劑）。
曝光時：
光敏劑吸收紫外光（G線436nm為主）后產生活性自由基，引發交聯劑與樹脂分子間的共價鍵交聯，使曝光區域形成不溶于顯影液的三維網狀結構。
顯影后：
未曝光區域的樹脂因未交聯，被顯影液溶解去除，曝光區域保留，形成負性圖案（與掩膜版相反）。
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技術挑戰
光刻膠作為半導體、顯示面板等高級制造的材料，其技術挑戰主要集中在材料性能優化、制程精度匹配、復雜環境適應性以及產業自主化突破等方面
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高分辨率：隨著半導體制程向3nm、2nm推進，需開發更高精度的EUV光刻膠，解決光斑擴散、線寬控制等問題。
靈敏度與穩定性：平衡感光速度和圖案抗蝕能力，適應極紫外光（13.5nm）的低能量曝光。
國產化替代：目前光刻膠（如EUV、ArF浸沒式）長期被日本、美國企業壟斷，國內正加速研發突破。
光刻膠的性能直接影響芯片制造的良率和精度，是支撐微電子產業的“卡脖子”材料之一。
綠色制造與循環經濟
公司采用水性光刻膠技術，溶劑揮發量較傳統產品降低60%，符合歐盟REACH法規和國內環保標準。同時，其光刻膠廢液回收項目已投產，通過膜分離+精餾技術實現90%溶劑循環利用，年減排VOCs（揮發性有機物）超100噸。
低碳供應鏈管理
吉田半導體與上游供應商合作開發生物基樹脂，部分產品采用可再生原料（如植物基丙烯酸酯），碳排放強度較傳統工藝降低30%。這一舉措使其在光伏電池和新能源汽車領域獲得客戶青睞，相關訂單占比從2022年的15%提升至2023年的25%。
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客戶需求導向
支持特殊工藝需求定制，例如為客戶開發光刻膠配方，提供從材料選擇到工藝優化的全流程技術支持，尤其在中小批量訂單中靈活性優勢。
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快速交付與售后支持
作為國內廠商，吉田半導體依托松山湖產業集群資源，交貨周期較進口品牌縮短 30%-50%，并提供 7×24 小時技術響應，降低客戶供應鏈風險。
性價比優勢
國產光刻膠價格普遍低于進口產品 30%-50%，吉田半導體通過規模化生產和供應鏈優化進一步壓縮成本，同時保持性能對標國際品牌，適合對成本敏感的中低端市場及國產替代需求。
政策與市場機遇
受益于國內半導體產業鏈自主化趨勢，吉田半導體作為 “專精特新” 企業，獲得研發補貼及產業基金支持，未來在國產替代進程中具備先發優勢。
吉田半導體光刻膠，45nm 制程驗證，國產替代方案!
產品優勢：多元化布局與專業化延伸
全品類覆蓋
吉田產品涵蓋芯片光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD光刻膠、半導體錫膏等，形成“光刻膠+配套材料”的完整產品線。例如：
芯片光刻膠：覆蓋i線、g線光刻膠，適用于6英寸、8英寸晶圓制造。
納米壓印光刻膠：用于MEMS、光學器件等領域，替代傳統光刻工藝。
專業化延伸
公司布局半導體用KrF光刻膠，計劃2025年啟動研發，目標進入中芯國際、長江存儲等晶圓廠供應鏈。
質量與生產優勢：嚴格品控與自動化生產
ISO認證與全流程管控
公司通過ISO9001:2008質量體系認證，生產環境執行8S管理，原材料采用美、德、日進口高質量材料，確保產品批次穩定性。
質量指標：光刻膠金屬離子含量低于0.1ppb，良率超99%。
自動化生產能力
擁有行業前列的全自動化生產線，年產能達2000噸（光刻膠及配套材料），支持大規模訂單交付。
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在半導體材料領域，廣東吉田半導體材料有限公司憑借 23 年技術沉淀，已成為國內光刻膠行業的企業。公司產品線覆蓋正性、負性、厚膜、納米壓印等多類型光刻膠，廣泛應用于芯片制造、LCD 顯示、PCB 電路板等領域。
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技術：自主研發的光刻膠產品具備高分辨率（如 JT-3001 厚板光刻膠）、高感光度（如 JT-1000 負性光刻膠）及抗深蝕刻性能，部分指標達到水平。
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嚴苛品控：生產過程嚴格遵循 ISO9001 體系，材料進口率 100%，并通過 8S 現場管理確保制程穩定性。
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定制化服務：支持客戶需求定制，例如為特殊工藝開發光刻膠，滿足多樣化場景需求。
公司位于松山湖開發區，依托產業園區資源，持續加大研發，與科研機構合作推動技術升級。目前，吉田半導體已服務全球數千家客戶，以 “匠心品質、售后無憂” 的理念贏得市場口碑。
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