Cu2+的蝕刻作用由次要地位而躍居主要地位,此時蝕刻速率慢,即應考慮蝕刻液的更新。一般工廠很少分析和測定蝕刻液中的含銅量,多以蝕刻時間和蝕刻質量來確定蝕刻液的再生與更新。蝕刻銅箔的同時,還伴有一些副反應,就是CuCl2和FeCl3的水解反應:FeCl3+3H2O→Fe(OH)3↓+3HClCuCl2+2H2O→Cu(OH)2↓+2HCl生成的氫氧化物很不穩定,受熱后易分解:2Fe(OH)3→Fe2O3↓+3H2OCu(OH)2→CuO↓+H2O結果生成了紅色的氧化鐵和黑色的氧化銅微粒,懸浮于蝕刻液中,對抗蝕層有一定的破壞作用,山東應用BOE蝕刻液圖片。2.影響蝕刻速率的因素Fe3+的濃度和蝕刻液的溫度蝕刻液溫度越高,山東應用BOE蝕刻液圖片,蝕刻速率越快,溫度的選擇應以不損壞抗蝕層為原則。Fe3+的濃度對蝕刻速率有很大的影響。蝕刻液中Fe3+濃度逐漸增加,對銅的蝕刻速率相應加快。當所含Fe3+超過某一濃度時,由于溶液粘度增加,山東應用BOE蝕刻液圖片,蝕刻速率反而有所降低。BOE蝕刻液生產廠家。山東應用BOE蝕刻液圖片
為了能在陰板23單側表面上形成均勻分布且厚度一致的銅,以便于后續的剝離,本實施例在該電解槽21兩端內側分別形成有供陰板23端部由上至下插入的兩個縱向條形插槽211,且該兩個縱向條形插槽211分布于電解槽21端部的兩側邊上,該陰板23兩端插入縱向條形插槽211中之后,該陰板23外側面與電解槽21內壁相靠近,且接近于貼合,的,陰板23外側面與電解槽21內壁接觸貼緊時為佳的狀態,則此時陰板23外側面與電解槽21內壁之間無縫隙。由于陰板23端部插入到了縱向條形插槽211中,則陰板23端部表面與縱向條形插槽211內壁之間幾乎沒有縫隙,同時,陰板23外側面與電解槽21內壁之間也幾乎沒有縫隙,因此,在陰板23端部表面與縱向條形插槽211內壁之間、及陰板23外側面與電解槽21內壁之間電解液藥水很少,幾乎沒有,即在這兩個位置處電解液交換量很少,甚至沒有,即在這兩個位置處無銅離子的存在。由此,在陰板23端部表面(靠邊上)、及陰板23外側面上長銅很少,甚至不長銅,而在陰板23內側表面上(除了端部表面)附上了一層銅,且銅分布均勻,厚度一致,陰板上銅的有效面積大,便于后續將銅拆下來,有效杜絕了陰板23上銅層四周厚、中間薄現象的發生。上海工業級BOE蝕刻液供應蘇州博洋化學股份有限公司生產BOE蝕刻液。
蝕刻液一般分為酸性蝕刻液和堿性蝕刻液兩種。酸性蝕刻液主要成分氯化銅、鹽酸、氯化鈉和氯化銨。它的機理是:,;酸性蝕刻液具有蝕刻速率易控制,蝕刻液在穩定狀態下能達到高的蝕刻質量的特性;同時,它的溶銅量大;酸性蝕刻液也較容易再生與回收,從而減少污染。有研究表明,酸性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數通常為3,以硝酸為基礎的蝕刻系統可以做到幾乎沒有側蝕,達到蝕刻的線條側壁接近垂直,其蝕刻效果非常好。結合以上特性,酸性蝕刻液一般用于多層印制板的內層電路圖形的制作或微波印制板陰板法直接蝕刻圖形的制作。
BOYANGCHEMICALwasestablishedin1999,thecompanyislocatedinthehigh-tech–zoneXUGUANINDUSTRAINPARK.BOYANGCHEMICALisalarge-scalechemicalcompanywithR&D,productionandsalesprovidingprofesstionalchemicalsolutionsforapplicationsinthefollowingindustries:advancedsemiconductorpackagingandtesting,TFT,LED,FPDflatpaneldisplay,crystallinesiliconsolar,PCBandrelatedindustries.BOYANGCHEMICALIscommittedtobuildinganinnovativeandlearningorientedenterpriseforthefuture.BOYANGCHEMICALwaslistedontheNATIONALSMETRANSFERSYSYTEMinNovember2015.(StockCode:834329)
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一種蝕刻方法,其特征在于,使用根據權利要求1至7中任一項所述的蝕刻液,在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦。蝕刻液及蝕刻方法技術領域[0001]本發明涉及一種用來在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法。背景技術[0002]以往,在蝕刻鈦時一直使用含有氫氟酸或過氧化氫的蝕刻液。例如文獻1中提出了一種鈦的蝕刻液,該鈦的蝕刻液是用來在銅或鋁的存在下蝕刻鈦,并且該蝕刻液的特征在于:利用由10重量%至40重量%的過氧化氫、0.05重量%至5重量%的磷酸、0.001重量%至0.1重量%的膦酸系化合物及氨所構成的水溶液將pH值調整為7至9。[0003]但是,含有氫氟酸的蝕刻液存在毒性高BOE蝕刻液價格。安徽一種BOE蝕刻液產品介紹
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根據權利要求1至3中任一項所述的蝕刻液,其特征在于,進一步含有α-羥基羧酸和/ 或α-羥基羧酸的鹽。 根據權利要求4所述的蝕刻液,其特征在于,所述α-羥基羧酸為選自由酒石酸、蘋果酸、檸檬酸、乳酸及甘油酸所組成的群組中的至少一種。 根據權利要求1至5中任一項所述的蝕刻液,其特征在于,所述酸的濃度為20重量%至70重量%;所述有機硫化合物的濃度為0.01重量%至10重量%。 根據權利要求4至6中任一項所述的蝕刻液,其特征在于,所述α-羥基羧酸和/或α-羥基羧酸的鹽的濃度為0.2重量%至5重量%。山東應用BOE蝕刻液圖片
蘇州博洋化學股份有限公司成立于1999年,公司座落于蘇州市高新區化工工業園,是一家集研發、生產、銷售為一體的大型精細化工企業,主要為半導體封裝測試、TFT、FPD平板顯示、LED、晶體硅太陽能、PCB等行業提供的化學品解決方案。努力構建面向未來的創新型和學習型企業。博洋股份于2015年11月在中小企業股份轉讓系統成功掛牌。(證券代碼:834329)擁有的理化分析、應用測試儀器以及一支以本科、碩士、博士為主的多層次研發團隊,致力于超凈高純、功能性微電子化學品的研究開發;并根據客戶的個性化需求量身定制整套化學品解決方案,力求持續的為客戶創造價值。博洋除擁有完善的自主研發能力外,與華東理工大學共同建立省級研究生工作站;長期保持與蘇州大學、中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所的合作關系,以輔助新產品的開發測試。對新技術、新工藝的研究精益求精,立志成為微電子材料領域個性化解決方案的***